सेमीकंडक्टर वेफर निर्मितीमध्ये, लिथोग्राफी प्रक्रिया ही एक महत्त्वपूर्ण, अचूकतेवर आधारित पायरी आहे जी चिपचे उत्पादन ठरवते. वेफर निर्मिती प्रक्रियेतील "एक्सपोजर आणि इमेजिंगचा गाभा" म्हणून, लिथोग्राफीमध्ये स्पिन कोटिंग, एक्सपोजर, डेव्हलपमेंट, एचिंग आणि वेट क्लीनिंगसह संपूर्ण कार्यप्रवाहाचा समावेश होतो आणि ती पर्यावरणीय स्वच्छता, अशुद्धता नियंत्रण, इलेक्ट्रोस्टॅटिक संरक्षण आणि रासायनिक प्रतिकारशक्तीवर अत्यंत कठोर आवश्यकता लादते. मायक्रॉन-स्तरीय धुळीचे कण, अल्प प्रमाणात आयन स्थलांतर आणि क्षणिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक डिस्चार्ज या सर्वांमुळे थेट फोटोरेझिस्टमध्ये दोष, पॅटर्नची चुकीची मांडणी, वेफरचे ऑक्सिडेशन आणि सर्किटमध्ये सूक्ष्म-शॉर्ट सर्किट होऊ शकतात, ज्यामुळे संपूर्ण वेफर्स रद्द करावे लागतात आणि प्रचंड उत्पादन नुकसान होते. अनेक फॅब्स (FABs) त्यांच्या फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेचे उत्पादन सुधारण्यासाठी संघर्ष करतात. उपकरणे, प्रक्रिया आणि पर्यावरणीय मापदंड सर्व व्यवस्थित असले तरीही, अडचण अनेकदा हातांच्या संरक्षणासाठी लागणाऱ्या वरवर पाहता क्षुल्लक वाटणाऱ्या उपभोग्य वस्तूंमध्ये असते. सामान्य क्लास 1,000 किंवा औद्योगिक दर्जाचे क्लीनरूम ग्लोव्हज फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेच्या अत्यंत उच्च मानकांसाठी पूर्णपणे अयोग्य आहेत.
लिथोग्राफी प्रक्रियेमध्ये सामान्य क्लीनरूम हातमोज्यांच्या वापरास सक्त मनाई का आहे?
पावडरच्या अवशेषांमुळे फोटोरेझिस्ट दूषित होतो.
अतिरिक्त सल्फर आणि क्लोराईड आयनांमुळे वेफर्सवरील सर्किट्सचे क्षरण होते.
स्थिर विद्युत अनियंत्रित झाल्यामुळे, एका अचूक फोटोलिथोग्राफी वेफरमध्ये बिघाड झाला.
पापुद्रे निघणे आणि गळणे, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेत बाह्य पदार्थांचे दोष निर्माण होतात.
एलजेआयक्लीन क्लास १०० पावडर-फ्री नायट्राइल ग्लोव्हज
सुझो लीडर सेमीकंडक्टर वेफर उत्पादन क्षेत्रावर लक्ष केंद्रित करत आहे आणि लिथोग्राफी प्रक्रियेतील अडचणी दूर करण्यासाठी, आम्ही विशेष क्लास 100 पावडर-मुक्त, कमी-आउटगॅसिंग नायट्राइल ग्लोव्हज विकसित केले आहेत जे संपूर्ण वेफर लिथोग्राफी प्रक्रियेच्या उत्पादन आवश्यकता उत्तम प्रकारे पूर्ण करतात, ज्यामुळे ते अनेक फॅब्स आणि वेफर पॅकेजिंग व चाचणी कंपन्यांसाठी पसंतीचे संरक्षक उपभोग्य साहित्य बनले आहेत.
१. डायक्लोराइड-आधारित पावडर-मुक्त प्रक्रिया: फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेत पावडरचे प्रदूषण होत नाही.
सेमीकंडक्टर-विशिष्ट क्लोरीनीकरण शुद्धीकरण प्रक्रियेचा वापर करणाऱ्या या पद्धतीमध्ये, संपूर्ण प्रक्रियेदरम्यान टॅल्क, कॉर्नस्टार्च किंवा सिलिकॉन ऑइल यांसारख्या सहायक ॲडिटिव्ह्जची भर घालण्याची आवश्यकता नसते. ही पद्धत प्रक्रियेदरम्यानच सुलभ वापराची खात्री देते, फोटोरेझिस्टला दूषित करणारे पावडरचे कण आणि सिलिकॉन ऑइलचे अवशेष मुळापासूनच काढून टाकते, आणि त्यामुळे फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेतील बाह्य कणांमुळे होणारे दोष पूर्णपणे दूर करते.
२. बहु-स्तरीय अतिशुद्ध पाण्याच्या धुलाईमुळे कमी सल्फर, कमी क्लोरीन आणि कमी आयन प्रमाण साध्य होते.
उच्च-शुद्ध पाण्याच्या अनेक फेऱ्यांनी खोलवर धुतल्यामुळे, कच्च्या मालातील अतिरिक्त घटक आणि पृष्ठभागावरील अवशेष काढून टाकले जातात. सल्फर, क्लोरीन आणि विद्राव्य धातू आयनांचे प्रमाण काटेकोरपणे नियंत्रित केले जाते, ज्यामुळे NVR (अविघटनशील अवशेष) कमी राहतो. यामुळे वेफरचे ऑक्सिडेशन, कोटिंगचे क्षरण आणि एचिंगमधील दोष टाळले जातात, ज्यामुळे हे ग्लोव्हज ८- आणि १२-इंच वेफर्ससाठीच्या आव्हानात्मक लिथोग्राफी प्रक्रियांशी पूर्णपणे सुसंगत ठरतात.
३ इलेक्ट्रोस्टॅटिक-संवेदनशील वेफर्सच्या संरक्षणासाठी इन-मोल्ड मॉडिफाइड ESD संरक्षण
बाजारात तात्पुरत्या स्प्रे कोटिंगसह उपलब्ध असलेल्या अँटी-स्टॅटिक ग्लोव्हजच्या विपरीत, गोनार्स नायट्राइल बेस मटेरियलवर इन-मोल्ड अँटी-स्टॅटिक मॉडिफिकेशन तंत्रज्ञानाचा वापर करते. यामुळे स्थिर आणि एकसमान पृष्ठभागीय प्रतिरोध सुनिश्चित होतो, आणि संपूर्ण प्रक्रियेदरम्यान स्थिर विद्युत सतत विसर्जित करून स्थिर विद्युत जमा होण्यास प्रतिबंध होतो, ज्यामुळे फोटोरेझिस्टचे विघटन आणि अचूक वेफर सर्किट्सचे नुकसान होऊ शकते. हे एक्सपोजर आणि डेव्हलपमेंट यांसारख्या मुख्य लिथोग्राफी टप्प्यांसाठी योग्य आहे.
लवचिक आणि अचूक फिट, मायक्रॉन-स्तरीय अचूक कार्यांसाठी उपयुक्त
हातमोज्याचे कापड लवचिक असून ते हाताच्या आकारानुसार जुळवून घेते. बोटांच्या टोकांवर घसरू नये यासाठी खास पोतदार रचना असल्यामुळे, तो वजनाने हलका आणि अवजड नाही, ज्यामुळे फोटोलिथोग्राफी वेफर हाताळणी, उपकरणांमधील दोषनिवारण आणि अचूक तपासणी यांसारख्या सूक्ष्म कामांसाठी तो आदर्श ठरतो. तो हालचालींवर कोणतेही बंधन घालत नाही आणि घसरणे टाळतो, ज्यामुळे हाताने काम करताना अपघाताने लागणाऱ्या धक्क्यांमुळे होणारे नुकसान प्रभावीपणे कमी होते. याव्यतिरिक्त, तो फोटोलिथोग्राफी द्रावके आणि सौम्य आम्ल व अल्कली यांना प्रतिरोधक आहे, आणि दीर्घकाळ वापरल्यानंतरही जुना न होता किंवा न फाटता टिकाऊ राहतो.
5
✅ दुहेरी-थराच्या व्हॅक्यूम-सील केलेल्या पॅकेजिंगमुळे दुय्यम दूषितीकरण टाळले जाते
संपूर्ण प्रक्रियेदरम्यान तयार उत्पादने क्लास 100 क्लीनरूममध्ये दुहेरी-थराच्या व्हॅक्यूम-सील केलेल्या पॅकेजिंगमध्ये पॅक केली जातात, जे साठवणूक आणि वाहतुकीदरम्यान त्यांना धूळ आणि आर्द्रतेपासून पूर्णपणे वेगळे ठेवते. पॅकेज उघडल्यावर कोणतेही दुय्यम प्रदूषण होत नाही, ज्यामुळे त्यांचा वापर क्लास 100 लिथोग्राफी क्लीनरूममध्ये त्वरित करता येतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-२३-२०२६